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抛光浆液的用途


抛光浆液的用途
抛光浆液用于化学机械的水性抛光,可有效地在高抛光速率下对铜进行抛光。水性浆液可以包含溶解在氧化剂中的可溶性钼盐和溶解在氧化剂中的钼酸。通过化学机械平坦化对铜进行抛光的方法包括在低压力下用抛光垫和水性浆液对铜进行抛光,所述水性浆液包含溶解在氧化剂中的可溶性钼盐和溶解在氧化剂中的钼酸、溶解在氧化剂中的MoO3颗粒和溶解在氧化剂中的MoO2颗粒。
抛光浆液是一种用于金属化学机械抛光,该抛光浆料含有研磨颗粒、氧化剂和载体,其中所述的研磨颗粒为金属胶体研磨颗粒。抛光浆料通过金属胶体研磨颗粒的作用增加金属的绝对去除速率,使缺陷、划伤、粘污和其它残留明显下降,从而降低衬底表面污染物;并且其在平坦化过程中具有较小的对介电质的相对去除速率选择比,可以防止金属平坦化过程中产生的介电质侵蚀,提高产品良率。
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