硅片去除研磨损伤深度的抛光工艺所用液体材料称抛光液。常见的有二氧化硅抛光液及三氧化铬抛光液。
　　
　　抛光液是由多种化工溶液配制而成的溶液，它在抛光工艺中有重要的地位，合理选择抛光液，能使加工出来的工件表面光亮美观，色泽鲜艳，光亮夺目，还可以防止工件的锈蚀，保持与提高工件表面的光泽，起到清洁工件与磨具的作用。去除油污，软化工件表面以加速磨消，减少磨具对工件的冲击，改善工件条件。它具有无毒，无腐蚀，不易变质等性能。
　　
　　抛光液的种类很多，应根据加工条件来选择。在光整效率，工作的研磨质量，抛光的光洁度等方面。抛光液都显示出其独特的效果。
　　
　　抛光液按抛光的材质不同分为：BD-H001型低碳钢常温化学抛光液 BD-H201型铝件化学抛光液 BD-H302型不锈钢化学抛光液
　　
BD-H001型低碳钢常温化学抛光液：
　　
　　BD-H001型低碳钢常温化学抛光液对低碳钢工件有良好的抛光效果，最佳效果能达到镜面光亮，外观可与装饰铬媲美。使用本品抛光，可提高工效，还可缩短镀镍时间。
　　
　　BD-H201型铝件化学抛光液是专门为提高铝制品表面光洁度而设计的一种化学抛光液，铝制品经过本品抛光后，可达到镜面亮度，可作为铝制品成品装饰用，也可作为铝制品表面处理过程中的中间工序使用。本品为淡蓝色透明状液体。
　　
　　BD-H302型不锈钢化学抛光液不受零件形状、体积限制，可以改变不锈钢制品机械损伤层和应力层，提高机械强度，效率高，表面精饰效果好。
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